光刻机等精密控制系统中会用到哪些自动控制技术(算法等)? – 知乎

我对直线电机的控制略有研究,因此较为了解粗扫描过程。在该过程中,最常用的控制方式是iterative learning control(ILC),即迭代学习控制。迭代学习控制本身是一个前馈控制方案,通过多次“试运行”收集系统中的干扰和噪声,之后人为地将产生的控制信号直接输出给直线电机,以达到提前补偿系统误差的效果。目前,很多研究ILC的文章,其应用场景就是光刻机或者晶圆扫描平台。2020年IFAC世界大会上Technische Universiteit Eindhoven的Maarten Steinbuch教授组介绍了他们对晶圆扫描平台采用的主要控制方法就是ILC。因为Maarten Steinbuch教授的实验室和ASML有着深度合作,我估计ASML在实际的光刻机上也用了该控制方法。我们都知道,目前世界上的唯一的光刻机巨头就是ASML,但是在几年之前,光刻机领域彼时还有两个巨头,即佳能和尼康。University of Califonia,Berkeley的Masayoshi Tomizuka教授组和尼康有着密切的合作,他们之前用的精密控制方法也多是ILC。此外,我了解到的哈工大的谭久彬院士组也做光刻机方面 Source: 光刻机等精密控制系统中会用到哪些自动控制技术(算法等)? – 知乎

计算光刻研究及进展 | 激光与光电子学进展 — 中国光学期刊网

以光学成像和工艺建模为基础,采用数学方法对光刻成像过程进行全链路的仿真与优化,实现成像误差的高精度补偿,能够有效提升工艺窗口和芯片制造良率,降低光刻工艺的研发周期与成本,目前已成为高端芯片制程的核心环节之一 Source: 计算光刻研究及进展 | 激光与光电子学进展 — 中国光学期刊网

How I Used Stable Diffusion and Dreambooth to Create A Painted Portrait of My Dog

In this post, we walk through my entire workflow/process for bringing Stable Diffusion to life as a high-quality framed art print. We’ll touch on making art with Dreambooth, Stable Diffusion, Outpainting, Inpainting, Upscaling, preparing for print with Photoshop, and finally printing on fine-art paper with an Epson XP-15000 printer. Source: How I Used Stable Diffusion and Dreambooth to Create A...