北理工李艳秋教授团队《先进计算光刻》出版|掩模|光学|偏振|记者|小说家|量子计算机|李艳秋(主播)_网易订阅

28～7nm 技术节点光刻成像误差容限更小，因此先进计算光刻必须建立“矢量”光刻成像理论、非零误差、多目标、全视场成像理论，以及先进、快速的算法。先进计算光刻可获得更加匹配实际光刻系统所需的光源和掩模结构，减少工艺迭代周期，最终实现高分辨、大焦深、高保真的光刻成像。