我对直线电机的控制略有研究，因此较为了解粗扫描过程。在该过程中，最常用的控制方式是iterative learning control（ILC），即迭代学习控制。迭代学习控制本身是一个前馈控制方案，通过多次“试运行”收集系统中的干扰和噪声，之后人为地将产生的控制信号直接输出给直线电机，以达到提前补偿系统误差的效果。目前，很多研究ILC的文章，其应用场景就是光刻机或者晶圆扫描平台。2020年IFAC世界大会上Technische Universiteit Eindhoven的Maarten Steinbuch教授组介绍了他们对晶圆扫描平台采用的主要控制方法就是ILC。因为Maarten Steinbuch教授的实验室和ASML有着深度合作，我估计ASML在实际的光刻机上也用了该控制方法。我们都知道，目前世界上的唯一的光刻机巨头就是ASML，但是在几年之前，光刻机领域彼时还有两个巨头，即佳能和尼康。University of Califonia，Berkeley的Masayoshi Tomizuka教授组和尼康有着密切的合作，他们之前用的精密控制方法也多是ILC。此外，我了解到的哈工大的谭久彬院士组也做光刻机方面