光刻机那么贵，一台光刻机一天能造多少芯片，能够本吗？ – 知乎

一台光刻机有个很重要的指标叫WPH，一小时单位产能，现在比较先进的DUV已经能做到200+，也就是一小时处理200片+。光刻机是是一个很重要的设备，但是显然不是唯一设备，一般在FAB里面，光刻机其实也就10余台左右，并且是高低搭配